Научный руководитель Национального центра физики и математики, академик РАН Александр Сергеев в беседе с ТАСС рассказал, что через пять лет в России появится первый отечественный литограф для микросхем.
По словам Александра Сергеева, первый образец отечественного литографа появится в течении двух лет.
“Мы планируем в течение двух лет сделать машину, она называется “альфа-машиной”, которая подтвердит правильность выбранной технологии и продемонстрирует работающий литограф. А дальше уже будет осуществляться изготовление следующей версии, такой, которая будет комплексом, … тем, что можно будет поставить на предприятие микроэлектронной промышленности.
Александра Сергеев
Научный руководитель Национального центра физики и математики, академик РАН
Также академик рассказал, что задача литографа в том, чтобы показать, что все составляющее технологии работает вместе, он добавил: “Это и источник рентгеновского изучения, и рентгеновская оптика, которая правильным образом проецирует на фоторезисте, это и фоторезисты, и система позиционирования с нанометровой точностью”.