Российский учёный разработал уникальный нагреватель для производства наноэлектроники
Никита Жидков, магистр Физтех-школы МФТИ, разработал новый нагреватель для вакуумной установки осаждения, который способен нагревать кремниевые образцы до 600°C. Это устройство было необходимо для создания полупроводниковых структур в производстве наноэлектронных устройств. Нагреватель был разработан в рамках дипломной работы и стал решением для вакуумной установки, использующей импульсное лазерное осаждение. Прежняя модель не могла работать в атмосфере кислорода, так как из-за конструкции часто выходила из строя.
Студент опирался на элементы старого нагревателя, но улучшил конструкцию, чтобы устройство стало более устойчивым и безопасным для работы в кислородной среде. Он рассказал, что новый прибор включает два контакта для подачи тока и два для термопары, а также использует проволоку, нагревающуюся от электрического тока, что позволяет передавать тепло на образец. Для изготовления были использованы теплоотводящие керамические пластины из оксида алюминия и проволока из сплава «фехраль», что повысило долговечность и эффективность работы устройства.
Испытания показали, что нагреватель работает без сбоев, даже при создании сложных структур из оксидов циркония и рутения. Устройство не только способно поддерживать температуру 600°C, но и отличается высокой экономической эффективностью, так как стоит гораздо дешевле предшественника и лучше выдерживает эксплуатацию в кислородной атмосфере. В дальнейшем нагреватель будет использоваться в микроэлектронике, в том числе для создания мемристорных структур, применяемых в нейроморфных чипах для машинного обучения.