TSMC запустила программу динамического энергосбережения для своих EUV-сканеров, которая уже показала заметное снижение энергопотребления. С сентября 2025 года программа постепенно внедряется на заводах Fabs 15B, 18A и 18B, а к концу года охватит все EUV-инструменты компании по всему миру. Все новые фабрики, включая второй этап Fab 21 в Аризоне, также будут использовать эту систему.
Компания ожидает, что к 2030 году программа позволит сэкономить 190 миллионов кВт·ч электроэнергии и сократить выбросы углекислого газа на 101 килотонну. При этом энергопотребление EUV-оборудования удалось снизить на пике работы на 44% без ущерба для производительности, качества и выхода продукции.
TSMC рассматривает возможность применения похожих механизмов управления энергопотреблением и для других литографических систем, включая DUV-сканеры, а также для оборудования вне литографии.